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电子级磷酸

化学式:

H3PO4

分子量:

97.99

规格:

85%浓度,金属小于100ppb

性状:

无色无味透明液体,中强酸

用途:

主要用于半导体晶圆蚀刻,去除氮化硅层结构和清洗作用。

包装贮存:

20L、200L、IBC吨桶以及槽车包装

 


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